晋创首举 | 全球首片12英寸碳化硅晶圆研制成功
山西晚报·山河+发布时间:2026-03-02 10:42:16

碳化硅晶圆12英寸


核心成就

山西烁科晶体成功研制全球首片12英寸第三代半导体碳化硅晶圆,打破国际技术壁垒,以自主创新彰显山西硬实力,为我国芯片产业高质量发展注入新动能。


洁净车间里,灯光柔和而肃穆,当一片直径300mm的碳化硅晶圆从单晶炉中缓缓取出,表面光洁如镜、晶体均匀致密,现场的工程师们松了口气——全球首片12英寸高纯半绝缘碳化硅单晶衬底在山西烁科晶体成功研制。这一第三代半导体领域的里程碑式突破,凝结着山西科研团队日夜攻坚的汗水,更以硬核技术标注了中国半导体产业的新高度。

  

攻坚:向全球技术顶峰发起冲锋

  

“别人做不出来的,我们必须做出来!”项目负责人盯着炉内数据,语气坚定却难掩压力。长期以来,12英寸碳化硅衬底被视作行业“天花板”,大尺寸扩径、低缺陷控制、高纯粉料制备三大技术壁垒横亘在前,国际上鲜有企业敢真正触碰。

  

作为山西转型综改示范区的领军企业,烁科晶体团队选择直面挑战。车间内,单晶炉24小时不停运转,技术人员三班倒值守,一双双眼睛紧盯温度曲线、压力参数、生长速率。失败接踵而至:晶体开裂、缺陷超标、尺寸不达标……一次次试验归零,一次次推倒重来。有人提出退守8英寸成熟路线,稳妥量产;但团队坚持向12英寸冲刺,“国家需要高端芯片,我们就必须啃下最硬的骨头。”

  

在数百个不眠之夜里,团队反复优化热场结构,独创大尺寸均匀生长工艺,攻克低缺陷N型衬底制备难题,从粉料提纯、晶体生长到晶片加工,全流程自主可控,终于在无数次试验后,迎来了第一片完美晶圆的诞生。


2025年7月30日,烁科晶体启动年产百万片级碳化硅单晶衬底项目。

突破:一颗“山西芯”点亮全球赛道

  

轻轻托起这片12英寸碳化硅衬底,它比传统硅片更坚硬、更耐高温、更耐高压,是5G通信、新能源汽车、航天航空等高端领域的核心材料。此前,全球碳化硅产品以4—6英寸为主,8英寸已属高端,而烁科晶体一举突破至12英寸,实现全球首发,同时成功研制同尺寸N型衬底,创下行业奇迹。

  

大尺寸带来大价值。12英寸晶圆可大幅提升芯片有效面积,在同等生产条件下产量更高、成本更低,直接打破国际垄断,让我国在第三代半导体材料领域实现从跟跑到领跑的跨越。从关键装备自主制造,到核心工艺完全掌握,烁科晶体建起国内最完整的碳化硅生产线,每一个环节都刻着“自主创新”的印记。

  

这一突破,不仅是企业的胜利,更是山西培育新质生产力、布局未来产业的生动实践。作为内陆省份,山西跳出资源依赖,瞄准高端半导体赛道精准发力,让一颗小小的碳化硅“芯片”,成为转型发展的强劲引擎。

  

致远:以创新之姿领跑产业未来

  

“成功只是起点,产业化才是目标。”车间里,团队来不及庆祝,便迅速投入量产优化工作。从实验室到生产线,从样品到商品,烁科晶体正加快技术转化,持续加大研发投入,以技术创新重构产业链、创新链、生态链。

  

在这支队伍里,有深耕材料领域数十年的行业领军者,有敢闯敢试的青年工程师,有精益求精的一线技工,不同身份、不同年龄,却怀着同一个目标:让中国碳化硅技术站在世界之巅。他们用坚守与专注,把技术难题逐一破解,把创新蓝图变为现实,诠释着新时代山西科技工作者的责任与担当。

  

全球首片12英寸碳化硅晶圆的问世,是山西科技创新的响亮名片,更是我国半导体产业自主可控的重要一步。它打破了高端材料的国际壁垒,提升了全产业链竞争力,为新能源、信息通信等国家战略领域提供坚实支撑。

  

从三晋大地到全球市场,从技术攻关到产业引领,烁科晶体以“人”为钥、以“创”为魂,在第三代半导体的赛道上勇毅前行。这片承载着山西智慧与中国力量的碳化硅晶圆,正划破技术边界,照亮我国高端芯片产业自主创新的广阔未来,为山西全方位转型注入源源不断的硬核动力。 



记者: 田晓瑛
编辑: 张静玉
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